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表面形貌觀測介紹

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表面形貌觀察與測量的意義

①材料表面的微觀幾何形貌特性在很大程度上影響著它的許多技術(shù)性能和使用功能。

②觀察材料表面形貌,為研究樣品形態(tài)結(jié)構(gòu)提供了便利,有助于監(jiān)控產(chǎn)品質(zhì)量,改善工藝。


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表面形貌觀測應(yīng)用范圍

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材料、電子、無鉛焊接、機械加工、半導體制造、航空、汽車、陶瓷品、地質(zhì)學、醫(yī)學、冶金等。


掃描電鏡實驗室(1)(1).png

表面形貌觀測手段

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1、掃描電子顯微鏡進行形貌觀察的主要內(nèi)容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度及顆粒度的分布、物相的結(jié)構(gòu)等。

2、光學顯微鏡主要應(yīng)用于工裝檢具、金屬件等的檢定,電子產(chǎn)品組裝、偏移、焊接異常檢驗,PCB/PCBA線路、防焊、孔、零件對準度以及文字圖形缺陷檢驗。

3、AFM全稱Atomic Force Microscope,即原子力顯微鏡,它是應(yīng)用范圍廣,可用于表面觀察、尺寸測定、表面粗糙測定、顆粒度解析、突起與凹坑的統(tǒng)計處理、成膜條件評價、保護層的尺寸臺階測定、層間絕緣膜的平整度評價、VCD涂層評價、定向薄膜的摩擦處理過程的評價、缺陷分析等。在飛秒檢測做AFM測試對樣品有以下幾點要求:(1)對象可以是有機固體、聚合物以及生 物大分子等。(2)樣品大小一般不超過 1cm,高度也應(yīng)控制在 1cm 以下,樣品表面起伏不超過 15μm。(3)測試薄膜厚度應(yīng)控制在 15μm 以下。

4、輪廓測量儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器。


檢測標準

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常用標準(部分)

JYT 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則;

GB/T 16594-2008 微米級長度的掃描電鏡測量方法通則;

IPC-6012 剛性印制板的鑒定及性能規(guī)范;

IPC-A-610電子組件的可接受性;

JIS B 0601-2013產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法.術(shù)語、定義和表面結(jié)構(gòu)參數(shù)。


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